微悬臂梁阵列传感系统

微悬臂梁阵列传感系统（扫描式激光分析仪）（MECWINS SCALAmini）

主要参数：平扫描范围≥6 × 6mm²，扫描最大速度≥0.4mm/s，最小测试移动位移：0.2μm，低噪声高灵敏度光学系统：激光束光斑≤30μm，激光最大功率≤1mW，垂直扫描范围：0.1nm~30μm

主要应用范围：利用激光入射扫描样品表面，收集反射信号得到样品表面的三维形貌和特征

测试地点：海琴5号 109-3

联系方式：于老师 0756-3668965

预约网站：https://sharing.sysu.edu.cn/