超高分辨热场发射扫描电子显微镜

超高分辨热场发射扫描电子显微镜 （Thermoscientific Apreo 2S HiVac）

主要参数：二次电子（SE）像，高真空模式：15kV时优于0.7nm；0.5nm（15kV，减速）；1kV时优于0.9nm（非减速模式），工作距离10mm；1kV时优于0.8nm（减速模式）；500V时优于0.8nm（减速模式），背散射电子像（BSE）1kV时1.2nm

主要应用范围：微纳尺寸材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析

测试地点：海琴5号 B105

联系方式：于老师 0756-3668965

预约网站：https://sharing.sysu.edu.cn/